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智能控溫烘箱是針對光刻工藝中hmds預(yù)處理的設(shè)備，被廣泛的應(yīng)用于半導(dǎo)體生產(chǎn)加工等方面使用，可見烘箱溫度控制的重要性，要掌控溫度必然需要精密的溫度傳感器，以確保溫度準(zhǔn)確有效控制。因此溫度的控制自然成了工業(yè)烤箱、烘箱、高溫烘箱的基本技術(shù)，為保證溫度控制的準(zhǔn)確性及故障信息反映的及時性，烘箱內(nèi)必須具有精密的溫度傳感器測試系統(tǒng)。
智能控溫烘箱的安全操作規(guī)程：
1、烘箱要按照銘牌上所規(guī)定的溫度范圍使用，烘箱必須保持接地良好。
2、烘箱附近不得堆放油盆、油桶、棉紗、布屑等易燃物品，不得在電烘箱旁進(jìn)行洗滌、刮漆和噴漆等工作。
3、要防止其他物件落入烘箱底部與電阻絲接觸造成短路。
4、打開電烘箱前，必須先斷電。加溫過程中操作者不得離開。
5、不得在電烘箱內(nèi)存放物品，如工具，器材零件及油料揮發(fā)物。
6、經(jīng)過汽油、煤油、酒精、香蕉水易燃液洗滌過的零件及噴漆過的物品，應(yīng)在室溫下放置15到30分鐘，待絕大部分易燃液體揮發(fā)后，才能放入HMDS烘箱內(nèi)烘烤，室內(nèi)應(yīng)注意通風(fēng)。
7、烘箱在工作時不得進(jìn)行清潔工作，更不得用汽油擦拭。
8、非金屬物品放入電烘箱內(nèi)加溫，一定要按照工藝規(guī)程進(jìn)行。
9、使用前要檢查自控裝置，指示信號是否靈敏有效，電氣線路絕緣是否完好可靠。
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